KAYDON半導(dǎo)體零部件行業(yè)研究：市場(chǎng)規(guī)模大，品類眾多
1.零部件是半導(dǎo)體設(shè)備的核心，品類眾多，技術(shù)壁壘高
1.1.半導(dǎo)體零部件是決定半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的關(guān)鍵領(lǐng)域

半導(dǎo)體零部件是半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的支撐：半導(dǎo)體設(shè)備是延續(xù)半導(dǎo)體行業(yè)“摩爾定律”的瓶 頸和關(guān)鍵，而半導(dǎo)體設(shè)備廠商絕大部分關(guān)鍵核心技術(shù)需要物化在精密零部件上，或以精密 零部件作為載體來(lái)實(shí)現(xiàn)。 半導(dǎo)體設(shè)備零部件在材料、結(jié)構(gòu)、工藝、品質(zhì)和精度、可靠性及穩(wěn)定性等性能方面達(dá)到了 半導(dǎo)體設(shè)備及技術(shù)要求，并具有高精密、高潔凈、超強(qiáng)耐腐蝕能力、耐擊穿電壓等特性， 生產(chǎn)工藝涉及精密機(jī)械制造、工程材料、表面處理特種工藝、電子電機(jī)整合及工程設(shè)計(jì)等 多個(gè)領(lǐng)域和學(xué)科，是半導(dǎo)體設(shè)備核心技術(shù)的直接保障。

半導(dǎo)體設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，由成千上萬(wàn)個(gè)零部件組成，零部件的性能、質(zhì)量和精度都共同決定 著設(shè)備的可靠性與穩(wěn)定性。半導(dǎo)體行業(yè)遵循“一代技術(shù)、一代工藝、一代設(shè)備”的產(chǎn)業(yè)規(guī) 律，而半導(dǎo)體設(shè)備的升級(jí)迭代很大程度上有賴于精密零部件的技術(shù)突破。各種半導(dǎo)體零部 件相互配合，共同支持半導(dǎo)體設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)，比起其他行業(yè)設(shè)備的基礎(chǔ)零部件**技術(shù)特性 更為明顯，精度高、批量小、多品種、尺寸特殊、工藝復(fù)雜，還要兼顧強(qiáng)度、應(yīng)變、抗腐 蝕、電子特性、電磁特性、材料純度等復(fù)合功能要求。

半導(dǎo)體精密零部件不僅是半導(dǎo)體設(shè)備制造環(huán)節(jié)中難度較大、技術(shù)含量較高的環(huán)節(jié)之一，也 是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)“卡脖子”的環(huán)節(jié)之一。同樣一個(gè)部件，相較于傳統(tǒng)工業(yè)，半導(dǎo)體設(shè)備 關(guān)鍵零部件在原材料的純度、原材料批次的一致性、質(zhì)量穩(wěn)定性、機(jī)加精度控制、棱邊倒 角去毛刺、表面粗糙度控制、特殊表面處理、潔凈清洗、真空無(wú)塵包裝、交貨周期等方面 要求就更高，造成了極高的技術(shù)門檻。以半導(dǎo)體用過(guò)濾件為例，目前半導(dǎo)體級(jí)別濾芯的精 度要求達(dá)到 1 納米甚至以下，而在其他行業(yè)精度則要求在微米級(jí)。同時(shí)，為獲得超純的產(chǎn) 品清潔度、高度一致的質(zhì)量和可重復(fù)高性能，半導(dǎo)體用過(guò)濾件對(duì)一致性、耐化學(xué)和耐熱性、 抗脫落性亦有較高的要求。
1.2.半導(dǎo)體設(shè)備由多個(gè)子系統(tǒng)組成，零部件數(shù)量龐大、種類繁多

各類半導(dǎo)體設(shè)備都可以分解成若干個(gè)模塊，由多個(gè)子系統(tǒng)組成。根據(jù) VLSI 公司統(tǒng)計(jì)分類， 半導(dǎo)體設(shè)備由八大關(guān)鍵子系統(tǒng)組成：氣液流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng)、光學(xué) 系統(tǒng)、電源及氣體反應(yīng)系統(tǒng)、熱管理系統(tǒng)、晶圓傳送系統(tǒng)及其他關(guān)鍵組件。其中，真空系 統(tǒng)、電源系統(tǒng)是較為關(guān)鍵的子系統(tǒng)，成本占比均在 10%以上。前者主要包括各類閥、泵， 后者則以射頻電源等為主。
半導(dǎo)體零部件數(shù)量龐大、種類繁多，碎片化特征明顯。按照業(yè)內(nèi)主流的零部件劃分方式， 半導(dǎo)體零部件可以劃分為機(jī)械類、電器類、機(jī)電一體類、氣體/液體/真空系統(tǒng)類、儀器儀表 類、光學(xué)類和其他零部件。機(jī)械類：應(yīng)用于所有設(shè)備，起到構(gòu)建整體框架、基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)、晶圓反應(yīng)環(huán)境和實(shí)現(xiàn)零部 件特殊功能的作用，保證反應(yīng)良率，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命，對(duì)加工精度、耐腐蝕性、密 封性、潔凈度、真空度等指標(biāo)有較高要求。電器類：應(yīng)用于所有設(shè)備，起到控制電力、信號(hào)、工藝反應(yīng)制程的作用，對(duì)輸出功率 的穩(wěn)定性、電壓質(zhì)量、波形質(zhì)量、頻率質(zhì)量等指標(biāo)有較高要求。

機(jī)電一體類：在設(shè)備中起到實(shí)現(xiàn)晶圓裝載、傳輸、運(yùn)動(dòng)控制、溫度控制的作用，部分 產(chǎn)品包含機(jī)械類產(chǎn)品，對(duì)真空度、潔凈度、放氣率、 SEMI 定制標(biāo)準(zhǔn)等指標(biāo)有較高要 求，還需要保證多次使用后的一致性和穩(wěn)定性，不同具體產(chǎn)品要求差別較大。

氣體/液體/真空系統(tǒng)類：在設(shè)備中起到傳輸和控制特種氣體、液體和保持真空的作用。 其中，氣體輸送系統(tǒng)類對(duì)真空度、耐腐蝕性、潔凈度、SEMI 定制標(biāo)準(zhǔn)等指標(biāo)有較高要 求，真空系統(tǒng)類對(duì)抽氣后的真空指標(biāo)、可靠性、穩(wěn)定性、一致性等指標(biāo)有較高要求， 氣動(dòng)液壓系統(tǒng)類對(duì)真空度、表面粗糙度、潔凈度、使用壽命、耐液體腐蝕等指標(biāo)有較 高要求。儀器儀表類：應(yīng)用于所有設(shè)備，起到控制和監(jiān)控流量、壓力、真空度、溫度等數(shù)值的 作用，對(duì)量程時(shí)間、流量測(cè)量精度、溫度測(cè)量精度、壓力測(cè)量精度、溫度影響小等指 標(biāo)有較高要求。光學(xué)類：主要應(yīng)用于光刻設(shè)備、量測(cè)設(shè)備等，起到控制和傳輸光源的作用，對(duì)制造精 度、分辨率、曝光能力、光學(xué)誤差小等指標(biāo)有較高要求。